助川電気工業株式会社

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半導体製造装置の高精度温度計測システムを開発・販売開始

高精度温度計測システム
高精度温度計測システム

縦型拡散装置などの炉内温度を誤差1℃内で計測する システムを開発
助川電気工業は、シリコンウエハー表面に薄膜をつくる 縦型拡散装置などの炉内温度を3次元的に計測するシステムを開発、15日から受注を始める

シリコンウエハー表面に均一に薄膜をつくるためには、炉内温度の均一化が不可欠である。システムは誤差1℃以下の高精度で、ウエハー表面や炉内の温度が測定できる。価格は標準タイプで300万円。半導体メーカーなど向けに売り込む。

半導体製造工程でシリコンウエハー表面に薄膜をつくるには縦型拡散装置やCVD装置を使う。こうした装置の炉内は100枚近くのウエハーを縦型に配置するウエハーボードがある。同社のシステムは、ウエハーボードにシリコンウエハーと同等の直径で熱電対を組み込んだグラファイト製の模擬ウエハーをいくつか配置し、炉内やシリコンウエハー表面の温度分布を計測する仕組み。

これまでのシリコンウエハー表面に直接、極細の熱電対を付ける計測方法に比べ費用が割安。ウエハー表面に加え、炉内全体の温度も測定できる利点がある。模擬ウエハーは多数の穴を開けてシリコンウエハーと同等の熱伝導率にした。(1999/10/14付 日刊工業新聞より)

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