助川電気工業株式会社

エネルギー・産業システム関連事業

熱機器

マイクロヒーターの取付例
真空容器にベーキング用としてヒーターを取付けた製品です。
マイクロヒーター
マイクロヒーター
シース内に絶縁物と共に直線状の発熱線が封入されております。フレキシブルで取扱いが容易なため、一般工業用から原子力に至るまで幅広い用途に使用されています。
シーズヒーター
シーズヒーター
シースの内部にある発熱線が螺旋状で、高熱流束性に優れ、さまざまな装置の熱源として適しています。
加熱機
加熱機
半導体・液晶製造装置
半導体・液晶製造装置

製品の特長・技術情報

 低温リード付マイクロヒーター
 冷却機構付高均熱基板加熱ヒーターの開発

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